Máquinas de medición de coordenadas
Introducción
La nanometrología es un subcampo de la metrología que se ocupa de la ciencia de la medición a escala nanométrica. La nanometrología desempeña un papel crucial para producir nanomateriales y dispositivos con un alto grado de precisión y fiabilidad en la nanofabricación").
Uno de los retos en este campo es desarrollar o crear nuevas técnicas y normas de medición para satisfacer las necesidades de la fabricación avanzada de próxima generación, que se basará en materiales y tecnologías a escala nanométrica. Las necesidades de medición y caracterización de las nuevas estructuras y características de las muestras superan con creces las capacidades de la ciencia de la medición actual. Los avances previstos en las industrias nanotecnológicas emergentes de EE. UU. exigirán una metrología revolucionaria con una resolución y una precisión mayores de lo que se había previsto hasta ahora.[1].
El control de las dimensiones críticas es el factor más importante en nanotecnología. Hoy en día, la nanometrología se basa en gran medida en el desarrollo de la tecnología de semiconductores. La nanometrología es la ciencia de la medición a escala nanométrica. Nanómetro o nm equivale a 10^-9 m. En Nanotecnología es importante un control preciso de las dimensiones de los objetos. Las dimensiones típicas de los nanosistemas varían entre 10 nm y unos cientos de nm, y para fabricar estos sistemas es necesario medir hasta 0,1 nm.
En la nanoescala, debido a sus reducidas dimensiones, pueden observarse varios fenómenos físicos nuevos. Por ejemplo, cuando el tamaño del cristal es menor que el camino libre medio del electrón, la conductividad del cristal cambia. Otro ejemplo es la discretización de las tensiones en el sistema. Resulta importante medir los parámetros físicos para aplicar estos fenómenos a la ingeniería de los nanosistemas y a su fabricación. La medición de la longitud o el tamaño, la fuerza, la masa, las propiedades eléctricas y otras se incluye en la nanometrología. El problema es cómo medirlas con fiabilidad y precisión. Las técnicas de medición empleadas en macrosistemas no pueden utilizarse directamente para medir parámetros en nanosistemas. Se han desarrollado varias técnicas basadas en fenómenos físicos que pueden utilizarse para medir o determinar los parámetros de nanoestructuras y nanomateriales. Algunas de las más populares son la difracción de rayos X, la microscopía electrónica de transmisión, la microscopía electrónica de transmisión de alta resolución, la microscopía de fuerza atómica, la microscopía electrónica de barrido, la microscopía electrónica de barrido de emisión de campo y el método Brunauer, Emmett, Teller para determinar la superficie específica.