La Ingeniería de precisión es una subdisciplina de ingeniería eléctrica, ingeniería de software, ingeniería electrónica, ingeniería mecánica e ingeniería óptica relacionada con el diseño Las máquinas, accesorios y otras estructuras que tienen [tolerancias] excepcionalmente altas, son repetibles y se mantienen estables con el tiempo. Estos enfoques tienen aplicaciones en máquina-herramientas, MEMS, NEMS"), optoelectrónica diseño, y muchos otros campos.

Uno de los principios fundamentales en la ingeniería de precisión es el del determinismo. El comportamiento del sistema es totalmente predecible incluso para movimientos a escala nanométrica. Para hacer el trabajo de manera eficiente y correcta para satisfacer sus necesidades a través de la maquinaria moderna.[1]​.

Los profesores Hiromu Nakazawa y Pat McKeown proporcionan la siguiente lista de objetivos para la ingeniería de precisión:.