Em geral

Engenharia de precisão é uma subdisciplina de engenharia elétrica, engenharia de software, engenharia eletrônica, engenharia mecânica e engenharia óptica relacionada ao projeto de máquinas, acessórios e outras estruturas que têm [tolerâncias] excepcionalmente altas, são repetíveis e permanecem estáveis ​​ao longo do tempo. Essas abordagens têm aplicações em máquinas-ferramentas, MEMS, NEMS), design optoeletrônico e muitos outros campos.

Um dos princípios fundamentais da engenharia de precisão é o determinismo. O comportamento do sistema é completamente previsível mesmo para movimentos em escala nanométrica. Fazer o trabalho de forma eficiente e correta para atender às suas necessidades por meio de maquinários modernos.[1]​.

Os professores Hiromu Nakazawa e Pat McKeown fornecem a seguinte lista de objetivos para engenharia de precisão:.