Elipsómetros
Introducción
La elipsometría espectroscópica es una técnica de análisis óptico que se basa en el cambio del estado de polarización de la luz que se incide sobre un material. Dicho análisis es no destructivo y es útil para la determinación de espesores de películas delgadas, y constantes ópticas de materiales (índices de refracción, coeficiente de extinción).
Historia
Robert Boyle observó los colores en burbujas de esencialmente aceites, jabón, agua entre otras. La polarización de la luz fue observada por Étienne Louis Malus en 1810, y 80 años después Paul Drude utilizó este concepto para medir espesores de películas muy delgadas, este fue el principio que posteriormente nombró A. Rothen (1945) como elipsometría.
Los primeros instrumentos aparecieron en los 70. Elipsómetros espectroscópicos se empezaron a utilizar en la investigación en 1990 y algunos fabricantes iniciaron al mercado instrumentos tales como elipsómetros y refractómetros a la vez.
Fundamento
Como ya se ha mencionado, es importante conocer el estado de polarización del haz incidente. Existen diferentes formas de polarización, las que típicamente se estudian en esta técnica son la polarización lineal y la polarización elíptica. La primera de ellas ocurre cuando las componentes Ez y Ey del vector eléctrico se mantienen constantes a través del tiempo.
Y la segunda cuando existe una variación de ambos componentes que den como vector resultante aquel que traza una elipse.
Esto tomando en cuenta la dirección de propagación del haz de luz en la dirección de x. La interacción luz-sólido se relaciona con el hecho de que parte de la luz es reflejada por el sólido por medio de las leyes de transmisión y reflexión de ondas planas, los coeficentes de Fresnel y la ley de Snell:.
Paralelo al ángulo de incidencia:.
Perpendicular al ángulo de incidencia:.
De esta manera es posible conocer la relación ente las constante ópticas del material y la elipse resultante de la reflexión por medio de:.